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渦街流量計基于卡門渦街原理，當臭氧氣體流過漩渦發生體時，會在其兩側交替產生有規則的漩渦，漩渦頻率與臭氧流速成正比，通過內置傳感器檢測漩渦頻率，可計算出臭氧流量3。

例如江蘇三豐的 LUGB 系列渦街流量計，就是可用于測量臭氧的流量計，具有壓力損失小、量程范圍大、精度高等特點4。其測量精度可達 1.0 級或 1.5 級，氣體流速測量范圍為 5～50m/s，工作溫度范圍為 - 20℃～+250℃，部分型號可擴展至 400℃，還支持脈沖電壓信號和電流信號輸出，便于與計算機或其他數字系統集成4。